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Non down PM TRAP
생산장비 PM시 VAC PUMP의 BM 발생을 줄이기 위해 CV를 이용함에 있어 유독성 물질이 옥외 노출 됨.
PUMP DOWN 되지 않도록 배기는 유지 되며, 유독성 물질을 흡착하여 배기 될수 있는 장치를 이용하여 환경안전 문제점을 제거함.
CVD / DIFF 공정용
IIP 공정용
ETCH 공정용
PRODUCT
Non down PM TRAP
생산장비 PM시 VAC PUMP의 BM 발생을 줄이기 위해 CV를 이용함에 있어 유독성 물질이 옥외 노출 됨.
PUMP DOWN 되지 않도록 배기는 유지 되며, 유독성 물질을 흡착하여 배기 될수 있는 장치를 이용하여 환경안전 문제점을 제거함.